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離子濺射儀sputter coater 108AUTO

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廣州競贏科學儀器有限公司

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產品介紹

108Auto是一款結構緊湊的離子濺射儀,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。108auto離子濺射儀的樣品室直徑為120 mm,樣品臺的高度可以任意調節,同時還帶有高效的直流磁控濺射頭和獨立的真空控制系統,能充分滿足客戶的多種需求。

主要特性

  • 自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和zui佳的導電噴鍍效果。

  • 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

  • 操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

  • 在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果,

  • 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。

  • 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動停止噴鍍過程。

  • 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和zui佳的鍍膜效果。

  • 可使用多種金屬靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。

技術參數
樣品室大小 直徑120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
靶材 Au 靶為標配,Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大小:直徑57mmx 0.1mm厚
樣品臺 可以裝載12個SEM樣品座,高度可調范圍為50mm
濺射控制 微處理器控制,安全互鎖,可調,zui大電流40mA,程序化數字控制
濺射頭 低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環繞暗區護罩
模擬計量 真空:Atm - 0.001mbar
厚度監控

(選件)

使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監控儀(選件)手動終止濺射過程
控制方法 自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停”控制的數字定時器(0-300s),自動放氣
桌上系統 真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統

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離子濺射儀sputter coater 108AUTO

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