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SUSS蘇斯光刻機用曝光燈HBO 200W/DC ，HBO 350W/S，HBO 1000W/D，HBO 5000W/S

詳細介紹

SUSS Micro Tecv美國蘇斯公司生產的半導體和太陽能行業用光刻機，目前得到業界的廣泛認同，該系列光刻機曝光系統的曝光燈，主要是由德國歐司朗公司生產的曝光燈進行配套供應。歐司朗曝光燈系列，具備良好的光通量，穩定的光強度以及優質的品質受到業界的青睞。目前供蘇斯光刻機配套的相關參數如下：

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

適用SUSS蘇斯光刻機型的曝光燈

燈管型號 壽命（H） 適用SUSS蘇期光刻機型

HBO 200W/DC 1000H MJB3， MJB4

HBO 350W/S 600H MA4， MA6， MA8， MA150， MJB3， MJB21，UV300/500

HBO 1000W/D 1000H MA150，MA200，MA4，MA6， MA8

HBO 5000W/S 1000H MA300

以下是歐司朗曝光燈的技術參數，適用于SUSS蘇斯光刻機型：

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