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日本Nikon G-line步進光刻機NSR-1755G7

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Nikon G-line步進光刻機：型號：Nikon NSR-1755G7

技術指標及功能

適用于分辨率不低于0.65μm的大規模集成電路工藝器件量產的G-line步進式光刻機。

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