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中科院微電子研究所勻膠機旋涂儀KW-4A

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北京通世華港設備有限公司

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產品介紹

技術參數及要求:

基片尺寸: φ5-100mm圓片,*/大 100×100mm 2 方片

轉速: 500-8000轉/分

轉速穩定性: 1%

旋涂均勻性: 1

旋涂工藝階段: 2 段

旋涂時間:Ⅰ速0~18S,*/大(0~60S);Ⅱ速0~60S,*/大(0~180S)

整機尺寸( 長寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm

裸機尺寸 長寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm

電機功率: 40W

適應材料:硅片、玻璃、石英、金屬、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各種材料

配套 無油真空泵參數:

型號: K W 550A/KW 550T

抽速: 1 .5 升 秒

功率: 3 20W

噪音: 50db

ZUI低真空度: 700mmHg

重量: 7.3 Kg

尺寸 長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率: :>60L/min

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