我司在清華大學(xué)順利完成美國ARS無液氦超穩(wěn)超低振動超高真空型低溫恒溫器與客戶STM系統(tǒng)的集成驗收工作

近日我司在清華大學(xué)順利完成美國ARS（ADVANCED RESEARCH SYSTEMS）無液氦超穩(wěn)超低振動超高真空型低溫恒溫器與客戶掃描隧道顯微鏡STM（scanning tunneling microscope)系統(tǒng)的集成驗收工作，該款低溫恒溫器是世界上**用于掃描隧道顯微鏡STM（scanning tunneling microscope)的無液氦閉循環(huán)系統(tǒng)，可實現(xiàn)樣品~7-350K（低溫可選＜3.5K，高溫可選800K）溫區(qū)內(nèi)連續(xù)變溫測試。

該款低溫恒溫器運(yùn)行過程中完全無需液氦，納米級的超低振動使其成為低溫變溫掃描隧道顯微鏡STM（scanning tunneling microscope)，掃描電子顯微鏡SEM（scanning electron microscope），原子力顯微鏡AFM(Atomic Force Microscope)，掃描探針顯微鏡SPM等測試的**。

該款系統(tǒng)完全不受液氦供應(yīng)限制，相比較液氦系統(tǒng)操作簡單方便，只需要幾個按鈕就可以實現(xiàn)樣品的低溫變溫測試。

X-20B超低振動超精細(xì)閉循環(huán)低溫恒溫器主要用于UHV環(huán)境。ARS生產(chǎn)的X-20B恒溫器是真正的UHV系統(tǒng)，真空度可達(dá)10-11 Torr，該產(chǎn)品全部用焊接接頭及金屬密封替換橡膠O圈密封，并在制冷機(jī)上直接焊接CF法蘭。

X-20B系列恒溫器的冷頭可以直接從該系統(tǒng)上移除且不會破壞系統(tǒng)真空度，所以X-20B系統(tǒng)的另一個優(yōu)勢就是可以輕松烘烤到200℃。

X-20B系列恒溫器使用氦氣交換冷卻樣品，系統(tǒng)振動級別僅為3-5nm，樣品處*低溫度可達(dá)3.5K，**溫度可達(dá)800K。

應(yīng)用實例

• 低振動UHV應(yīng)用

• 顯微實驗

• 表面物理

• 納米材料

典型特點

• 3-5 nm超低振動

• 10-11 Torr真正的超高真空環(huán)境

• 移除冷頭可烘烤至200℃

• 開放的樣品空間

• 冷頭朝下放置

• 可根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制