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簡(jiǎn)介:

熱電過(guò)程恒溫器 適用于 -20 至 90 °C 的半導(dǎo)體行業(yè)

詳細(xì)介紹：

為苛刻的工藝過(guò)程快速和精確的溫度控制

熱電溫度控制系統(tǒng)LAUDA Semistat為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的可重復(fù)性的溫度控制。系統(tǒng)動(dòng)態(tài)地控制靜電卡盤(pán)(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA Semistat 熱電溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)是基于帕爾帖原理的溫度轉(zhuǎn)換， 這些原件可以實(shí)現(xiàn)快速且精準(zhǔn)的溫度控制，滿(mǎn)足了當(dāng)今元器件生產(chǎn)尺寸越來(lái)越小的要求。

與基于壓縮機(jī)的系統(tǒng)相比，熱點(diǎn)在線(xiàn)使用 Semistat 溫度控制系統(tǒng)，降低能耗多達(dá) 90 %。可安裝在使用地點(diǎn)的地下，非常節(jié)省空間，這樣**限度地減少無(wú)塵室的使用。快速和精準(zhǔn)地將過(guò)程溫度曲線(xiàn)控制在 ±0.1 K，從而提高晶圓間均質(zhì)性。

重要功能：

l低能耗，沒(méi)有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)

l占地空間小，如果放置在地板下方則不占用Sub-Fab

l極低的導(dǎo)熱液體填充量

技術(shù)參數(shù)：