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功能特點(diǎn)

可編程精密控溫。可獨(dú)立控制，也可從上位機(jī)軟件控制

超低的盤面溫度梯度

獨(dú)立的上盤面真空吸氣槽，用于吸附固定晶圓樣品

軟件可拓展性強(qiáng)，可提供LabView等語言的SDK

#升級(jí)項(xiàng)# 性能可升級(jí)，詳見 配置列表

#選擇項(xiàng)#是否帶有上蓋。上蓋功能如下：

可拆卸的觀察窗

可變的樣品腔高度

用于負(fù)溫時(shí)的除霜設(shè)計(jì)

向腔室內(nèi)充入氣氛

可做改動(dòng)或定制，詳詢上海恒商

技術(shù)參數(shù)

溫

控

性

能

溫度范圍

-190℃ ～ 600℃ 負(fù)溫需使用液氮制冷

可提升溫度上限

溫度分辨率

0.001℃

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃(at 100℃) 可提升穩(wěn)定性

溫度均勻度

±0.1℃/cm可升級(jí)均勻性

*小控溫速度

±0.1℃/小時(shí)

**加熱速度

+150℃/分鐘(at 100℃)

**制冷速度

-100℃/分鐘(at 100℃)

溫度傳感器

100Ω鉑質(zhì)RTD

溫控方式

開關(guān)式PID 可升級(jí)為LVDC式PID

尺寸

樣品腔面積

35 mm x 35 mm

*注：液氮泵型號(hào)不同，制冷表現(xiàn)也會(huì)有差異，請(qǐng)悉知

配置列表

標(biāo)

準(zhǔn)

HCC602 溫控晶圓夾盤

√

mK2000溫度控制器 軟件免費(fèi)，控制線有多種接口供選

√

升

級(jí)

**溫度 從 600℃ 升級(jí)為 更高

選

配

件

上蓋

液氮制冷系統(tǒng) 包含液氮泵與液氮罐，使樣品降至負(fù)溫

外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環(huán)防止外殼過熱

固定支架 把夾盤固定在使用平臺(tái)上，防止滑動(dòng)

溫控聯(lián)動(dòng)顯微鏡相機(jī) 溫度-圖像聯(lián)動(dòng)工作，附軟件

線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器里，抑制電噪音

*注：產(chǎn)品有多種配置變化，詳詢上海恒商