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Automegasamdri-938， Series C

產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆ 新配置的專用“慢充”控制，給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動(dòng)力學(xué)，保護(hù)了大多數(shù)易脆樣品；

◆ 外部配置了PURGE后的過(guò)濾裝置，保護(hù)樣品，容易更換和后期維護(hù)；

◆ 采用了****的“Vortex Swirl”非機(jī)械攪拌，使PURGE完全而不至于破壞樣品；

◆ 高效內(nèi)部封閉冷卻循環(huán)系統(tǒng)，可以快速冷卻腔體溫度，縮短操作時(shí)間；

◆ 內(nèi)置SOTER冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣，消除排氣噪音；

◆ 獨(dú)特的樣品室填塊，可以改變樣品室直徑，減少液態(tài)二氧化碳的消耗量和處理時(shí)間，并兼容不同尺寸晶圓的處理；

◆ 內(nèi)部過(guò)濾系統(tǒng)，過(guò)濾流進(jìn)樣品室的液態(tài)二氧化碳，過(guò)濾顆粒*低尺寸達(dá)到0.08μm；

◆ 一次運(yùn)行可以處理5片8英寸晶圓，改變樣品室尺寸，每次運(yùn)行也可以分別處理6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓及10mm方晶；

◆ 標(biāo)配特氟龍兼容的8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個(gè)；

◆ 垂直樣品室，內(nèi)腔有照明，樣品室蓋子帶觀察窗；

◆ 明亮的LCD觸屏控制；

◆ 內(nèi)置出廠自動(dòng)運(yùn)行程序并可創(chuàng)建和保存?zhèn)€性化程序；

◆ 所有內(nèi)部表面適用于CO2，丙酮和超純乙醇；

◆ 可以重復(fù)設(shè)置的參數(shù)，確保結(jié)果的可重復(fù)性；

◆ 集成自動(dòng)控溫和靜態(tài)壓力控制模塊，確保自動(dòng)安全的運(yùn)行；

◆ 潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì)；

◆ 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)；