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儀器簡介：

電子半導體行業制造中監控超純水中SiO2含量

技術參數：

測量范圍：0-1000ppb SiO2或0-5000ppb SiO2， 重現性+0.5ppb/+2ppb

檢測極限 <0.5ppb/2ppb， 循環時間 10分鐘（每通道）

運行壓力/溫度0.2-2bar/5-50 ºC，取樣流量15-20 L/h

通信方式：RS485，模擬輸出4-20mA

主要特點：

多通道操作（1-6）

運行維護量小和極低的運行成本

可進行兩點校準：化學零點和斜率

內置數據記錄儀，簡單友好的用戶菜單