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特點：

0.1和0.2μm的標準顆粒尺寸，可在0.1和5.0μm范圍內定制

極好的流量控制和動態的入口壓力調節具備極快的清潔和恢復時間

高流速保證了快速的清洗時間

的流量調節，一體化設計保證了低維護量

激光能量診斷，顆粒計數軟件和完全的可追溯NIST標準4-20mA輸出

應用：

電子半導體制造超純水系統顆粒計數檢測

性能：

測量粒徑尺寸（μm）：0.1，0.2 系統流速>1L/min

樣品流速 10ml/min， 樣品壓力設置30-100psig

光源采用激光二極管