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RGA系列殘余氣體分析儀

可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。

RGA系列殘余氣體分析儀特點

◇100，200，和300amu ◇優于1amu的分辨率◇6個量級的動態范圍◇可檢測5 x 10^-14Torr

◇實時RGA Windows和LabVIEW軟件◇質譜，泄漏檢測和壓力對時間方式◇現場可更換的電子倍增器和燈絲◇RS232計算機接口

RGA系列殘余氣體分析儀選型表

殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號，其優異的性能使其成為真空分析儀中**產品。每一個RGA系統都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實時分析windows軟件包可以更方便用于數據采集和分析，并可進行遠程控制。

探測器類型標準法拉第杯(FC)， 可選電子倍增 (EM)分辨率優于0.5amu靈敏度(A/Torr) 2 × 10^?4 (FC)， <200 (EM).探測極限 5 × 10^?11 Torr (FC)， 5 × 10^?14 Torr (EM)測試范圍 10^?4 Torr to UHV (FC) 10^?6 Torr to UHV (EM)操作溫度 70 °C (max.)工作溫度 300 °C (without ECU)