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電子制造工業中，對煙囪排放的氯化物、氟化物、苯系物等氣體監測非常重要，OPSIS 擁有專為電子廠這種環境而設計的連續排放監測系統。為了提高在全世界許多應用場所的可靠性和運轉性能，OPSIS可以滿足電子芯片制造業多樣化的需求。采用DOAS (差分吸收光譜法)的Opsis系統是一條開放式光徑，無須接觸被監測氣體的監測系統，就不會受廢氣排放過程中的氣體、高溫和微粒的影響。一套系統可以實時在線地監測用戶指定的一系列物質， OPSIS系統具有高準確性、高可靠性和很強的數據采集處理能力。OPSIS同樣可以滿足過程控制對響應速度的要求。

　　一套OPSIS 系統可以監測多種物質。通常監測的氣體，諸如為了符合電子廠的某些特別需求，監測HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……

應用原理：差分吸收光譜法（DOAS）

系統結構：

技術特點：

• 無需抽取采樣，不改變工況條件，在線實時連續測量
• TÜV，MCERTS 等國際認證
• 煙道光路上平均濃度，代表性強
• 多氣體，多光路技術（反應時間快）
• 使用壽命長，維護量小，運營成本低（**耗件氙燈）
• 一年只需要校準 1-2 次
• 技術成熟，應用范圍廣

主要設備：

您是不是找？

環境空氣苯系物在線監測系統，可參見“苯系物氣體在線監測系統”