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阿瑞斯-μVOC空氣分子污染物監測系統

高達16通道的低于ppb級濃度有機物監測

連續監測@ sub ppb級

醋酸、草酸、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸三甲酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物

空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產過程是關鍵性因素，特別是微電子行業，有機污染物是生產過程中的消極因素，會導致高科技公司因產品質量問題而產生的成本增加。

無空氣分子污染物生產是理想的生產目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統來實現，持久監測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩定生產、預防過濾器突發性壽命減少等。

uVOC-CAM提供給客戶一個實時快捷持續的在線空氣分子污染物AMC監測方案，不需要采樣，離線測量。

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產生、管路泄露、設備維護修理時散發等，外部來自環境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產、重新凈化潔凈室等。

空氣分子污染物問題:從潔凈間到生產機臺加工

隨著IC產品生產成本的增加，空氣分子污染物AMC的監測變得越來越重要。

污染物從加工到超凈間的擴散，并且成份的增加，分子污染物來自多個源頭，比如生產化學藥劑、建筑材料、潔凈間設備裝置、操作人員等。

μ-VOC 系統意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產生污染問題和減少污染問題之間的關聯，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量，提供早期AMC監測和快速確定這些污染問題的原因。

亮點

一般特點

在線連續質量監測全部自動化系統

低濃度VOC監測

獨立分開測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數據采集與處理功能

應用

潔凈間污染物監測

過濾器狀態監測

加工過程全組份測量診斷污染物

通過成份形成跟蹤污染物源頭

許多生產過程化學藥劑成為污染物的源頭，NH3因光刻工藝過程而*為**。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成三甲基硅醇和NH3，等等很多類似的化學藥劑的分解與釋放，都造成AMC的增加。而實時迅速測量這些成份濃度的μ-VOC 系統可以跟蹤污染物形成的時間和路線。

工作原理

GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術，這種技術依賴于揮發性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當不同的揮發性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，獨特的吹掃和載氣系統可使儀器達到sub-ppb檢測限。

特性:

可測組份