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一、儀器描述

ATM-240L用于產(chǎn)生高濃度PSL小球氣溶膠，依據(jù)VDI 3491（part 2）進(jìn)行設(shè)計(jì)研發(fā)。

在半導(dǎo)體和航空航天行業(yè)中的高效過(guò)濾器的測(cè)試中，不能采用常見(jiàn)的油性氣溶膠物質(zhì)（DEHS、PAO等），即使很小的量也會(huì)存在濾材中或者排出從而導(dǎo)致對(duì)產(chǎn)品造成損傷，根據(jù)DIN EN 1822-4中濾材的測(cè)試用固體顆粒，經(jīng)過(guò)對(duì)比，PSL是**的用于測(cè)試PTFE高效濾膜的**材料。

——較高的產(chǎn)生速率，**1.5*1011/min。

——單分散氣溶膠粒徑分布

——滿(mǎn)足檢漏測(cè)試（U16級(jí)，濾紙樣610mm*610mm，質(zhì)量流量600m3/h）

——較少的水分?jǐn)z入，無(wú)需干燥

——易于操作、清潔、保養(yǎng)

二、儀器應(yīng)用

l 產(chǎn)生示蹤粒子

l 測(cè)試HEPA和ULPA過(guò)濾器效率

l 測(cè)試大型潔凈間VDI2083、DIN EN ISO14644

l 產(chǎn)生PSL小球

三、儀器規(guī)格參數(shù)