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MNK GC8800系列高純氣雜質分析PDHID色譜儀

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產品介紹

GC8800系列

高純氣雜質PDHID分析

高純氦雜質分析

H2,O2,Ar,N2,CO2,CH4 *小檢測量優于 20ppb

高純二氧化碳雜質分析

H2,O2,Ar,N2,CH4 *小檢測量優于 20ppb

高純氫雜質分析

N2,H2,CH4,CO2,CO*小檢測量優于 20ppb

下列儀器關鍵部件均由美國VICI等公司進口

PDHID檢測器

氦氣純化器

流路系統

樣品過濾器

色譜柱

GC8802

SF6雜質單柱PDHID分析

色譜儀

分析SF6中CO,CF4,CH4,CO2,C2F6,SF6,SO2F2,C3F8

GC8803

含氟氣體分析專用色譜

一次進樣后完成全分析

檢測器:高靈敏度、耐腐蝕的TCD

進樣:VICI自動采樣閥技術

采樣:無死體積采樣或在線采樣

方式,一次性完成常見雜質檢測。

重復性:RSD≤1%。

檢出限:H2-100ppm; F2-100ppm; Kr-500ppm; HCL-500ppm

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