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電子探針簡介：

電子探針(EPMA)是用極細的電子束對樣品表面進行照射產生特征性X射線，對特征性X射線進行分光和強度測定，得到微小區域的元素組成及樣品表面元素濃度分布的分析裝置。EPMA 采用波長色散型X 射線分光器（WDS），與能量色散型X 射線分光器（EDS）相比，具有高分辨率的特點。因此，EPMA與掃描型電子顯微鏡（SEM）配置EDS 檢測器比較，可以進行更高精度和更高靈敏度的分析。

技術特點：

島津電子探針EPMA-1720系列

優勢在于傳承52.5°的高X射線取出角技術，可以進行高靈敏度的X射線測定。

高速穩定驅動的樣品臺，可以高精度設定分析位置和分析區域。

配備各種自動功能和聯動功能，電子束的設定簡單易行。

集多年分析經驗于一體的控制?分析軟件，實現了從數據采集到數據解析及報告制作的清晰易懂、操作便捷的良好操作環境。

對于初學者，裝備了從SEM 觀察到定性分析?成圖分析的簡易可行的簡單模式。

數據瀏覽程序可以方便地進行數據的批次管理。