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LA-150 DC 實(shí)驗(yàn)室探針臺(tái)

LA-150 DC是SemiProbe一款價(jià)格適中、體積小的150mm（6英寸）探針臺(tái)，適用于研發(fā)中心和各大高校，具有高穩(wěn)定性和靈活性，滿(mǎn)足你實(shí)驗(yàn)室測(cè)量的需求。它配置完整，安裝經(jīng)由客戶(hù)完成，操作可在一小時(shí)內(nèi)完成。

SemiProbe的實(shí)驗(yàn)室探針臺(tái)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)于滿(mǎn)足研究人員的測(cè)試需求 --- 操作簡(jiǎn)單輕松、體積小型便于攜帶、價(jià)格適中具有競(jìng)爭(zhēng)力以及它的模塊化設(shè)計(jì)。與之相比，一般情況下，這樣功能的探針臺(tái)是非常昂貴的，但這款實(shí)驗(yàn)室探針臺(tái)能以非常有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格實(shí)現(xiàn)提供了多種產(chǎn)品特點(diǎn)和選擇 ---多種平臺(tái)、卡盤(pán)、光學(xué)組件和操縱器。并且可在之后增加各種附件從而增強(qiáng)系統(tǒng)功能性。

產(chǎn)品特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：

? 體積小--- 適用于桌面，小型工作臺(tái)，手套式操作箱或者暗箱

? 系統(tǒng)配置完整

? 組件可更換---可當(dāng)做單獨(dú)應(yīng)用系統(tǒng)或者多個(gè)應(yīng)用系統(tǒng)使用

? 模塊化設(shè)計(jì)--- 可增加多個(gè)配件實(shí)現(xiàn)更多的性能

? 直流電、高頻/微波和Kelvin版本

配置包括：

? 硬鋁基座，帶有橡膠隔振腳

? 粗糙和精細(xì)的晶圓平臺(tái)調(diào)整，附有可更換的平臺(tái)選擇--- 包裝部件或者熱部件

? 精細(xì)的平臺(tái)移動(dòng)，使用精準(zhǔn)的測(cè)微計(jì)控制--- X (25 mm)， Y (25 mm) & Z (>20 mm)

? 粗糙（360度）和精細(xì)（10度）theta調(diào)整

? 150mm(6英寸)卡盤(pán)，附有隔離適配器和真空控制系統(tǒng)

? 材質(zhì)為鋁，鍍不銹鋼，附有可移動(dòng)的前鍥子

? 精準(zhǔn)的測(cè)微計(jì) 臺(tái)板Z上升（13mm）

? 兩個(gè)DC MA-8005 操縱器，附有磁性基座，面板和同軸探針臂（標(biāo)準(zhǔn)）

? 顯微鏡桿，附有同軸和線性顯微鏡X，Y移動(dòng)50 mm x 75 mm

? 6.7:1變焦(130x 放大倍率) 三目立體變焦顯微鏡，工作距離為100mm

規(guī)格參數(shù)

備注：規(guī)格參數(shù)的數(shù)值具體取決于探針系統(tǒng)的配置和配件要求