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■ 設備參數

◆ X軸：行程400mm，解析度0.1um

◆ Y軸：行程400mm，解析度0.1um

◆ 剝離作用材質：氮化鎵、BCB膠材等

◆ 加工產能：4-6min/片@4寸（折算UPH為10-15pcs）

◆ 加工產品尺寸：2-8寸wafer/12寸基板

◆ 剝離方式：1.激光掃描，從藍寶石面射入

         2.可提供逐點線掃（往復折線或回形等多種移動模式）

■ 設備優勢

◆ 良率高

◆ 效率高

◆ 可整面剝離/選擇性剝離

■ 應用領域

      應用于Micro LED晶圓剝離