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儀器簡介：

光譜薄膜測試儀 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement

應用領域: IC fab， MEMS， LED， solar cell， photonics， nano technologies.

設備特性: Angstrom Sun 光譜反射儀廣泛用于各種透明、半透明薄膜測試.

•廣泛用于檢測各種薄膜的厚度， 包括oxide， nitride， photo resist， metal oxide， ITO.

•膜厚范圍可自20nm 到5000nm. 可選各種光譜范圍， 自UV 200nm到IR 1700nm.

•可具有高達12”直徑自動 mapping 功能，軟件功能強大.

技術參數：

光譜薄膜測試儀 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement

應用領域: IC fab， MEMS， LED， solar cell， photonics， nano technologies.

設備特性: Angstrom Sun 光譜反射儀廣泛用于各種透明、半透明薄膜測試.

•廣泛用于檢測各種薄膜的厚度， 包括oxide， nitride， photo resist， metal oxide， ITO.

•膜厚范圍可自20nm 到5000nm. 可選各種光譜范圍， 自UV 200nm到IR 1700nm.

•可具有高達12”直徑自動 mapping 功能，軟件功能強大.