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| DHM VS 白光干涉儀WLI | DHM VS 共聚焦激光掃描顯微鏡 | DHM VS 接觸式表面輪廓儀 | ||||||
| 2 點主要區別： 1、 DHM®相干長度是400μm，而WLI只有15μm。實際上，這意味著與DHM®聚焦比得上標準的光學顯微鏡。相反，使用WLI，用戶需要搜索條紋，傾斜樣本使樣本在這個表面小范圍內測量。 2、 DHM®是一個更靈活的儀器，因為它使用物鏡通過玻璃或者浸入式從光學顯微鏡測量。WLI要求特定的干涉儀物鏡有限定且復雜的玻璃補償。 | 2點主要區別： 1、 DHM®垂直分辨率并不依賴于放大倍數，即顯微鏡物鏡的數值孔徑(NA)。與此相反，CLSM的垂直分辨率依賴于焦點的深度，而其會降低物鏡的NA。 2、 DHM®垂直分辨率達到亞納米精度，而CLSM使用高NA物鏡對樣品形貌*終的垂直分辨率分辨率只是幾納米。 | 主要區別： 除了相比任何掃描方法的優勢外，DHM®是一個非接觸式光學表面光度儀，由于非接觸方法可防止任何接觸損害。采用表面光潔度輪廓儀(如探針式輪廓儀和AFM)的測量，可能會因表面的彈性變形、探針拖動污垢或損壞的探針而受到影響。 | ||||||
| Features | DHM | WLI | Features | DHM | CLSM | Features | DHM® | 輪廓儀 |
| 時間分辨測量 | √ | × | 時間分辨測量 | √ | × | 時間分辨率測量 | √ | × |
| 樣品設置，不需要傾斜樣品 | √ | × | 對曲率的數字補償有很大的深度 | √ | × | 快速篩選表面，尋找感興趣區域 | √ | × |
| 直觀聚焦的大垂直可視化范圍 | √ | × | 可拆卸和靈活的儀表頭 | √ | × | 通過玻璃和浸入式測量 | √ | × |
| 用標準光學顯微鏡對玻璃進行測量 | √ | × | 非接觸、無損方法 | √ | × | |||
| 可拆卸和靈活的儀表頭 | √ | × | ||||||
| 參數 | ||
| DHM型號 | T1000 | T2100 |
| 激光源數量 | 1 | 2 |
| 工作波長(±1.0nm) | 666 nm | 666 nm， 794 nm |
| 激光波長穩定性 | 0.01 nm/°C@666nm | |
| 樣品臺 | 手動或電動 XYZ 三軸樣品臺，**移動范圍 114 mm x 76 mm x 38 mm | |
| 物鏡 | 放大倍數 1.25x 至 100x，可選標準物鏡、高NA值物鏡、蓋玻片矯正物鏡、長工作距物鏡、水鏡、油鏡等 | |
| 電腦 | Dell**工作站，Intel® 多核處理器，高性能顯卡針對對 DHM®優化配置，*小21寸顯示器 | |
| 專用軟件 | Koala專用數據采集分析軟件，基于C++ 和 .NET 附加專用分析軟件供不同應用分析(MEMS Analysis Tool，Cell Analysis Tool，Reflectometry Analysis) | |
| 性能 | ||
| 測量模式 | 單激光波長 666 nm | 雙激光合成波長8 μm |
| 可用該測量模式的DHM型號 | T1000， T2100 | T2100 |
| 測量精度[nm] | 1.04 | 1.0/5.04 |
| 縱向分辨率[nm] | 2.04 | 2.0/10.04 |
| 測量重復性[nm] | 0.024 | 0.024/0.054 |
| 動態可測縱向范圍 | **500 μm 4 | **500 μm 4 |
| **可測臺階高度 | **1.0 μm 4 | **7.0 μm 4 |
| **3.5 μm 4 | **22 μm 5 | |
| 垂直校準 | 由干涉濾光片決定，范圍±0.1 nm | |
| 圖像采集時間 | 標準500 μs (*快可選10μs) | |
| 圖像采集速率 | 標準30幀/秒1024x1024像素(*快可選1000幀/秒) | |
| 實時重建速率 | 標準25 幀/秒1024x1024像素(*快可選 100 幀/秒) | |
| 橫向分辨率 | 由所選物鏡決定，** 300 nm | |
| 視場 | 由所選物鏡決定，范圍從 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm | |
| 工作距 | **50倍于景深 (由所選物鏡決定) | |
| 樣品照明 | *低1μW/cm2 | |
