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桌面級SEM掃描電鏡多功能濺射儀，特別適用于FE-SEM高分辨掃描電鏡樣品的噴金以及樣品等離子體清洗等多種用途。采用分子泵泵組獲得< 9*10-6 Torr本底真空，可以在mTorr氣壓下實現磁控濺射噴金，獲得更為細膩的金膜，以滿足FE-SEM高分辨掃描電鏡等樣品處理。同時具備遠程RF 射頻離子源實現樣品清洗，高效、低等離子體轟擊損傷。

核心部件采用國際品牌無油分子泵組，靜音、無需操心真空系統和操作間環境泵油污染。保證設備具有優異的質量與穩定可靠性。觸摸屏界面操作，即插即用。

參數規格