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創新點
1.**保護MyAutoView的光斑可視功能,可對薄膜樣品直接觀測測量光斑和樣品表面,簡單直接,提高測量精確度。直接觀測測量點,可極快地準確判斷測量點位置,避免光斑落在污點處,同時對于有圖形的薄膜,配合自動平臺,可以準確地定位微光斑,快速地進行橢偏測量。 2.全自動樣品水平調整系統,可自動找平測量表面,使測量更簡單。 3.Uvisel 2采用反射式結構(無色差)微光斑技術,對于激發波長均保證光斑大小相同。8種光斑尺寸,包括目前世界上*小的35um無色差微光斑,極大地提供了空間分辨率。 4.190-1000nm分光系統采用雙級單色儀,具有更高的雜散光抑制率,有效減少測量時間,保證數據在高精度,高信噪比下快速測量。 5.采用新的雙級分光系統和電學反饋系統,使整體測量速度大幅提高,190-1000nm僅需60秒就可得到高精度,高分辨率測試結果,190-2100nm范圍僅需5分鐘。
儀器介紹:
UVISEL2是一款完全革新的全自動光譜型橢偏儀。繼承并發展了經典機型UVISEL的高準確性、高靈敏度和高穩定性等技術特點的同時,配備革新的可視系統,多達8個尺寸微光斑選項,*小達35×85μm2,適用于所有薄膜材料研究領域。是目前市場上****的機型。技術參數:
·光譜范圍:190-2100 nm
·8種光斑尺寸: *小35 X 85 um
·探測器:3個獨立探測器,分別優化紫外,可見和近紅外
·自動樣品臺尺寸:200mm X 200mm;XYZ方向自動調節; Z軸高度>35mm
·樣品水平度自動調整
·自動量角器:變角范圍35°- 90°,全自動調整,*小步長0.01°
主要特點:
·完全自動化設計,自動對焦、校正
·全新光路、電路設計,測量精度更高,速度更快
·50KHz高頻PEM相調制技術,測量光路中無運動部件
·雙光柵光譜儀系統,雜散光抑制水平高
·8個尺寸微光斑,**可視技術
·自動平臺樣品掃描成像