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SU8020發(fā)射掃描電鏡

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SU8020--日立新型高分辨場發(fā)射掃描電鏡SU8000系列

產品介紹:

日立新型高分辨場發(fā)射掃描電鏡SU8000系列--SU8020

日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場發(fā)射掃描電鏡,其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探測器設計上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號,實現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結晶襯度和電位襯度的觀測;結合選配的STEM探測器,還可以實現(xiàn)明場像和暗場像的觀測;此外在半導體應用中,還可以安裝EBIC探測器,采集感生電流圖像,極大豐富了信號的采集,對樣品的信息的收集達到了新的高度。

特點:

1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達1.3nm

2. 日立**的ExB設計,不需噴鍍,可以直接觀測不導電樣品

3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器

4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像

5. 可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能

6. 標配有冷指、電子槍內置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能

7. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成

項目 SU8020 SU8030 SU8040
二次電子分辨率 1.0nm (加速電壓15kV、WD=4mm)
1.3nm (加速電壓1kV、WD=1.5mm)
加速電壓 0.1~30kV
觀測倍率 20~8000,000(底片輸出)
60~2,000,000(顯示器輸出)
樣品臺
馬達驅動 5軸 REGULUS樣品臺
行程 X 0~50mm 0~110mm
Y 0~50mm 0~110mm 0~80mm
Z 360°
T -5~70°
R 1.5~30mm 1.5~40mm
**裝載尺寸 100mm(**) 150mm(**) 150mm(**)
150mm(選配) 200mm(選配)
探頭
標配 Lower 高立體感圖像
Upper 高分辨SE、LA-BSE圖像
Top SE的電位襯度像、HA-BSE圖像

選配

STEM 明場像、暗場像
YAG 探頭 BSE圖像
半導體探頭 BSE圖像
EBIC 電子束感生電流圖像
EDS 元素分析
反污染措施
冷指 標配
物鏡光闌 內置自清潔功能
電子槍 內置加熱器
真空系統(tǒng)
離子泵 3臺
分子泵 1臺
機械泵 1臺

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SU8020發(fā)射掃描電鏡

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