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lyncee+材料3D實時動態顯微鏡+DHM™ R2100

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上海瞬渺光電技術有限公司

瑞士

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產品介紹

材料3D實時動態顯微鏡

lyncee+材料3D實時動態顯微鏡+DHM™ R2100

LynceeTec數字全息顯微鏡DHM

Digital Holographic Microscopy (DHM) generates, in real-time, high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time.

儀器簡介

瑞士Lyncee tec公司的材料3D實時動態顯微鏡DHM R1000 DHMDigital Holographic Microscopy)主要應用是在MEMS研發中用于測量工作,以及在生產線用于缺陷檢測。與上述用途中現在經常使用的共焦顯微鏡相比,在同行分辨率下能夠更高速地進行測量。垂直方向的分辨率為0.6nm,水平方向為200nm300nm(取決于物鏡)。使用1.25倍率的物鏡時視野為4mm×4mm,可以15/秒的速度進行測量。因此,25px見方的試樣幾分鐘即可完成觀察。使用現有共焦顯微鏡時,同等范圍的觀察則需要幾個小時~10小時。此外產品**可將觀察速度擴展至1萬幀/秒。由于攝影速度快,因此不需減震臺,可用來檢測流水線上的產品。

照射到試料上的光線與參照光產生的干涉圖案使用CCD相機,作為數字數據保存下來,由此算出三維數據。計算三維數據時使用的是專用軟件“Koala Software”。

主要特點:

·非接觸式3D成像

·可進行相位測量

·自動相干補償

·高分辨、實時測量

技術規格

系統

·測量技術: 單波長透射式數字全息顯微鏡

·成像類型: 強度及定量相差 (DHM模式)

·光 源: 單波長激光

·樣品臺: 手動或自動XYZ平臺行程200mm××100mm×15mm

·相 機: 1392×1040像素, 8bits

·有效物鏡: 標準顯微物鏡長工作距離物鏡油鏡或水鏡

性能

·縱向分辨率: 10nm

·垂直測量范圍: 可達340nm (取決于樣品)

·橫向分辨率: 300nm (1.4NA)

·視場范圍: 4.4mm

·工作距離: 0.3~18mm

·數字聚焦范圍: 達到50倍場深

·抓圖時間: 小于1us

·空間采樣: 1024×1024像素

·采樣速率: 15fps (1024×1024像素)

·單波長重建速率:15fps (512×512像素), 4fs(1024×1024像素)

·樣品照明: 小于1uW/cm2

·**樣品尺寸: 200mm×200mm

電源要求

·輸入電壓: 85-260VAC, 50/60Hz

·功率: 480W

重量&尺寸

·顯微鏡部分: 500×500×500mm&34.5kg

產品咨詢

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上海瞬渺光電技術有限公司

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