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PhenomPro臺式掃描電鏡

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北京裕隆時代科技有限公司

荷蘭

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產品介紹

----源自荷蘭飛利浦

Phenom Pro 放大倍數100,000倍,分辨率優于17nm,30秒快速得到表面細節豐富的優質顯微像。是一款功能齊全的高分辨率臺式掃描電鏡,可用于測量亞微米或納米尺寸的樣品。Phenom Pro可選配豐富的拓展功能選件Phenom Pro Suite,如三維粗糙度重建、纖維直徑和孔洞面積(孔隙率)統計分布、高倍拼圖、遠程控制操作等。

PhenomPro臺式掃描電鏡 專業版

—— 智能、高效、多功能

? 放大倍數:20×-100,000×

? 分辨率:優于17nm

? 電子槍:1500小時CeB6燈絲

? 抽真空時間:10秒

? 樣品移動方式:自動馬達樣品臺

? 樣品定位方式:光學和低倍電子雙重導航

? 樣品導電性要求:無需噴金,直接觀測絕緣體

? 拓展功能:3D粗糙度重建、纖維統計測量,高倍拼圖等

? 環境掃描選件(ESEM):溫控樣品臺,可直接觀測液體

Phenom Pro (臺式掃描電鏡 專業版) 采用壽命高達1500小時的新一代CeB6燈絲和分辨率更高,功能更全的光學顯微鏡,提高后的光學顯微鏡有聚焦功能,放大倍數在20-120倍之間,具備明場和暗場兩種模式。

表面細節豐富的高分辨率照片

Phenom Pro 為您提供高信噪比、表面細節豐富的優質圖像:

? 20×-100,000×連續放大,分辨率優于17nm,大景深;

? 信號較少的鎢燈絲電鏡通過提高加速電壓來產生更多信號,密度較小的樣品會因為電子穿透過深而導致表面細節缺失。信號是鎢燈絲10倍以上的CeB6在低

電子穿透深度淺,避免樣品被破壞,展現更多表面細節;

? 探測背散射電子,展現清晰形貌結構的同時,提供豐富的成份信息;

左圖:5kV低加速電壓下,電子反應區位于樣品表面,配合高亮度CeB6燈絲,既保證了分辨率,又得到樣品表面的信息;

右圖:15kV高加速電壓下,電子穿透深度較深,表面細節丟失

CeB6燈絲在樣品表面單位面積內激發的信號約是鎢燈絲的10倍,適合于低加速電壓觀測

表面形貌和成分信息同時展現

背散射電子的產率、出射角度與樣品成份及表面形貌相關。Phenom采用4分割半導體背散射電子探測器,為您提供兩種成像模式,模式之間可迅速切換:

? 成份模式:同時給出樣品表面形貌與成份信息,不同元素可由其灰度對比度的不同加以分辨

? 形貌模式:去除成份信息,樣品表面凹凸起伏等微觀結構更加明晰,適用于表面粗糙度和缺陷分析

成份模式4分割背散射電子探測器扇區所得的信號相疊加

形貌模式4分割背散射電子探測器扇區所得的信號相抵消

成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息

形貌模式圖像僅突出樣品表面形貌特征

**樣品杯,30秒快速成像

Phenom**樣品杯、低真空設計、**的真空封鎖技術,裝入樣品后30秒內即可得到高質量圖像,耗時僅為傳統電鏡的1/10左右。

直接觀看絕緣體,無需噴金

Phenom采用低真空技術,出射電子與空氣分子碰撞產生正離子,正離子與樣品表面累積的電子中和,有效抑制荷電效應的產生,直接觀測各種不導電樣品(如下圖所示)。

利用降低荷電效應樣品杯,更可將開始荷電的放大倍數提高8倍左右,而且不會影響燈絲壽命,下圖頭發示例:

操作簡便,全程導航

? 自動/手動聚焦

Phenom操作界面。通過點擊右側圖標可以輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對比度調節、旋轉等操作。界面右側顯示光學導航和低倍SEM導航窗口,方便用戶在不同樣品、不同區域間進行切換。

? 自動/手動亮度

? 自動/手動對比度

? 自動燈絲居中調節

? 自動馬達樣品臺

? 光學/電子樣品導航

光學導航,所有帶觀測樣品盡在視野之中,高倍下準確切換樣品,只需點擊感興趣樣品,即可自動移動到屏幕中央

低倍SEM照片導航,導航窗口中的彩色矩形框指示了住觀測窗口的觀測區域,點擊感興趣的區域,自動移動到樣品中央。

環境適應性高,完全防震

Phenom可以放置在幾乎所有的室內環境當中,無需超凈間。采用燈絲、探測器、樣品臺相對一體化的設計,震動不會引起三者間的相對運動,使Phenom成像不受震動影響,可放置在較高樓層。

互聯網遠程檢測

Phenom擁有遠程檢測功能,通過網絡,專業工程師可隨時為您遠程檢測系統、答疑解難,為您提供全方位的保護,讓您的Phenom隨時處于**工作狀態。

豐富的拓展功能選件

適用于不同領域的樣品杯選件

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PhenomPro臺式掃描電鏡

北京裕隆時代科技有限公司

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