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原位液氮TEM-STM低溫電學樣品桿

系統組成：

• 原位液氮TEM-STM低溫電學樣品桿，溫控儀，電學測試控制器。

基本參數指標：

• 變溫范圍為85K-380K，溫度穩定性由于±0.1K。

掃描探針操縱指標，室溫下：

• 粗調進針范圍： XY方向3mm，Z方向1.5mm

• 細調掃描范圍：XY方向20um，Z方向2um

• 細調分辨率： XY方向0.2nm，Z方向0.04nm

透射電鏡結構分辨率：

• 全溫區優于0.2nm