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>N-216小型大行程納米促動(dòng)器

N-216小型大行程納米促動(dòng)器

直接聯(lián)系

北京泰坤工業(yè)設(shè)備有限公司

德國(guó)

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面議

關(guān)注度:

846

產(chǎn)品介紹

小型大行程納米促動(dòng)器

小型大行程納米促動(dòng)器

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 工業(yè)級(jí)精度定位

  • 半導(dǎo)體技術(shù)

  • 半導(dǎo)體測(cè)試

  • 晶圓檢測(cè)

  • 平版印刷術(shù)

  • 納米壓印

  • 納米測(cè)量

  • 強(qiáng)磁場(chǎng)和真空中運(yùn)動(dòng)

增量編碼器用于高精度位置測(cè)量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺(tái)上測(cè)量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)測(cè)量造成影響。

小型大行程納米促動(dòng)器

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng),將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分辨率進(jìn)行*小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的,并且適合在強(qiáng)磁場(chǎng)中運(yùn)行。驅(qū)動(dòng)器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

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N-216小型大行程納米促動(dòng)器

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