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PIMars納米定位平臺

應用領域

• 掃描顯微鏡

• 掩模/晶圓定位

• 干涉測量

• 測量技術

• 生物技術

• 掃描和篩選

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可實現極低的排氣率。

PIMars納米定位平臺

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對震動和沖擊不敏感不敏感。它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯位置測量實現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動導向）。即使在動態操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

德國Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米與納米定位技術的研發與制造。PI代表著技術性能，定位精度可達納米。PI可獲得的組件獨立于市場上，并提供超越現有技術水平的單獨解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競爭優勢。 Physik Instrumente提供了超越全球競爭的技術范圍和垂直生產范圍。然而，PI重要的關注是通過定位解決方案不斷地激勵客戶。今天，無論是在計量、顯微，生命科技，還是激光技術，精密加工技術；無論是半導體科技，數據存儲技術，還是光電子/光纖，天文等領域，PI的產品和技術正得到越來越廣泛的應用，也贏得了越來越廣泛的贊譽。 Physik Instrumente (PI)主要產品： 線性平臺和執行器 電動旋轉平臺和測角器 XY平臺 六足/平行運動 XYZ掃描儀 Z-/傾斜平臺，提示/傾斜鏡和有源光學 陶瓷部件 壓電陶瓷組件 壓電陶瓷執行器 控制器和驅動器 空氣軸承導向系統 主要型號： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91