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XY掃描器

閉環控制式單模塊柔性XY掃描器。

掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm×100 μm， 10 μm×10 μm )

Z掃描器

柔性引導高力度掃描器

掃描范圍: 12 μm (可選 25 μm)

樣品臺

XY臺工作范圍: 13 × 13 mm

Z臺工作范圍: 29.5 mm

聚焦臺工作范圍: 70 mm

光學系統

可觀察樣品和探針的直視同軸光學系統

10X 物鏡 (可選20X）

視場: 480 × 360 μm

CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

電路系統

高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS

**圖像尺寸: 4096 x 4096像素， 16個數據圖像

信號輸入： 在500kHz取樣時， 16位ADC的20個通道

信號輸出： 在500kHz取樣時， 16位ADC的21個通道

同步信號 ：圖像結束， 線結束及像素結束TTL信號

主動Q控制(選配)

懸臂梁彈性常數校準(選配)

CE Compliant

電源 : 120 W

信號處理模塊 (選配)