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多波長橢偏儀

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優尼康科技有限公司

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Film Sense FS-1™多波長橢偏儀

型號:Film Sense FS-1™

Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現快速和可 靠地薄膜測量。大多數厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,就 可以獲得非常精密和準確的數據。

Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現快速和可 靠地薄膜測量。

大多數厚度 01000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,就 可以獲得非常精密和準確的數據。還可以測量大多數樣品的光學常 數和其他薄膜特性。

Film Sense FS-1™多波長橢偏儀 這款功能強大的多波長橢偏儀,售價只是單一波長橢偏儀

和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1 可應用于研究實驗室,超凈間,原位工藝腔體以及工業質量控制等諸多領域

主要特點

n 4 LED 光源:藍色(465nm),綠色(525nm), 黃色(580nm),紅色(635nm

n 橢偏儀探測器中無可移動部件

n **的膜厚精密性,大多數樣品精密度優于 0.001nm1 秒獲取數據),對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

n 集成計算機,可實現對設備控制和數據分析,自帶 瀏覽器界面,可兼容任何現代計算機,筆記本或平 板電腦

優勢

n 壽命長(長達 50,000 小時),更換 LED 燈便宜,校準時 間短或無需 PM 程序

n 快速測量(10ms 內獲得多波長數據)和長期性能穩定

n 測量精確,只有橢偏儀可以實現

n 軟件設置和維護簡單

標準 FS-1 配置

n 65°入射角

n 手動放置樣品和調節高度

n 樣品尺寸zui大直徑 200mm 和厚度 23mm

n 樣品偏轉范圍+/-20

n 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm

n 結構緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)

性能

FS-1 多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品,包括多 層膜樣品,FS-1 獲得的標準測量精密度和準確性數據。

應用領域

n 半導體行業:二氧化硅和氮化物,高介電和低介電 材料,非晶和多晶材料,硅薄膜,光刻膠

n 光學薄膜行業:高和低指數薄膜,如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2

n 顯示屏行業:TCO(如 ITO),非晶硅薄膜,有機薄 膜(OLED 技術)

n 數據存儲行業:寶石,如碳膜

n 工藝研發:原位表征薄膜沉積(速率和光學常數) VS 工藝條件,可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控濺射 等設備

n 化學和生物:在液體細胞實驗中探測亞單原子層材 料吸附

n 工業:在線監測和控制膜厚

In Situ 在線測量功能

n 亞單原子膜厚精密度

n 多工藝條件下測定薄膜光學常數 n&k 和沉積速率,不 會破壞真空

n 監測和控制多層膜結構沉積

n FS-API 界面,外置軟件控制(兼容 LabVIEW™

n 兼容大多數薄膜沉積技術:磁控濺射,ALDMBEMOCVD,電子束蒸發等

In Situ 在線測量

產品包括 FS-1™多波長橢偏儀,帶緊湊自動 mapping 樣品 臺,可以實現快速,準確和可靠的薄膜均勻性測量。

特點和參數

n 4 段波長的橢偏數據(465, 525, 580, 635 nm),壽命長 的 LED 光源,探測器內無可移動部件

n 可對 0-1000nm 透明薄膜進行準確的厚度測量

n 標準濃厚重復性 0.015 nm

n 集成聚焦探針,標準光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm (其他尺寸 可選)

n 電動 Z 軸樣品臺自動準直

n 靈活掃描圖案編輯器

n 測量參數等值線繪制

聚焦光束選件

樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm 0.3 x 0.7 mm

聚焦光束檢測

聚焦光束檢測系統包括一個 FS-1 多波長橢偏儀,帶光束聚焦光學器件和一個手動位移臺。該系統 非常適合用于手動檢測和在圖案化半導體晶圓上 進行質量控制測量。

可進行科研測量,帶小尺寸光斑和相機成像功能

手動位移臺,可容納 4’5’6’晶圓

樣品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm

樣品上光束位置視頻圖像

FS-XY150

n 標準晶圓 map 時間:60s150mm 晶圓上取 49 個點)

n 結構緊湊:600x600 mm, 16 kg

n 樣品臺行程(X,Y):150 x 150 mm, 精度:5 μm

FS-RT300

n 標準晶圓 map 時間:90s300mm 晶圓上取 49 個點)

n 結構緊湊:400x500 mm, 22 kg

n 樣品臺行程:R (線性) 150 mm, 精度:12 μm

n 角度(旋轉)360°,精度:0.1°

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多波長橢偏儀

優尼康科技有限公司

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