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日立掃描電子顯微鏡SU3500

直接聯(lián)系

柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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795

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日立高新高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡SU3500，圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。

通過(guò)高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性，凝聚日立***科技“獨(dú)具匠心”。

日立高新鎢燈絲掃描電鏡SU3500具有實(shí)現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊1，以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器”＊1。

它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。

特點(diǎn)

低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高，可更好地觀察樣品*表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞

全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察

和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2，自動(dòng)功能縮短＊3了大約11秒

具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品*表面的細(xì)微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測(cè)器）”＊4

具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊4

（*1）：自選

（*2）：和日立SEM S-3400N相比

（*3）：根據(jù)觀察條件的不同，時(shí)間會(huì)有變動(dòng)

（*4）：自選

規(guī)格

項(xiàng)目		描述
二次電子分辨率		3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式）
二次電子分辨率		7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式）
背散射電子分辨率		4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式）
背散射電子分辨率		10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式）
放大倍率		5 - 300，000倍（底片倍率^＊5）
放大倍率		7 - 800，000倍（顯示器顯示倍率^＊6）
加速電壓		0.3 - 30kV
可變壓力范圍		6 - 650Pa
**樣品尺寸		直徑 200mm
樣品臺(tái)	X	0 - 100mm
	Y	0 - 50mm
	Z	5 - 65mm
	R	360°
	T	-20° - 90°
	可觀察區(qū)域	直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用）
	**樣品高度	80mm（WD=10mm）
	馬達(dá)臺(tái)	5軸標(biāo)配
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	預(yù)對(duì)中的鎢燈絲
	物鏡光闌	4孔可動(dòng)光闌
	探檢測(cè)器	埃弗哈特索恩利二次電子探測(cè)器
	探檢測(cè)器	高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
	EDX分析 WD	10mm（取出角35°）
圖像顯示	操作系統(tǒng)	Windows^® 7^＊7（如有更改，恕不另行通知）
	圖像顯示模式	全屏模式（1，280 × 960 像素）
		小屏模式（800 × 600 像素）
		雙圖像顯示（800 × 600 像素）
		四屏幕顯示（640 × 480像素）
		信號(hào)混合模式
排氣系統(tǒng)	操作	全自動(dòng)排氣
	渦輪分子泵	210升/秒 × 1
	機(jī)械泵	135L/min（162L/min，60Hz）× 1

^（*2）：以127mm×95mm（圖像尺寸4"×5"）的顯示尺寸規(guī)定倍率

^（*3）：以345mm×259mm（像素1，280×960）的顯示尺寸規(guī)定倍率

^（*4）：Windows®是微軟公司在美國(guó)和其他國(guó)家的注冊(cè)商標(biāo)

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