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透射電鏡校準標樣

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這個獨特的校準標樣直接溯源于硅晶體的晶格常數,它能用來對所有透射電鏡進行三項專業的標定和校正:

• 放大倍率(全范圍)

• 相機常數

• 像與衍射花樣之間的磁轉角

放大倍率校準是電鏡中*普遍的校準,因為確定電鏡本身顯示的或圖像上的放大倍率數值是否準確,以及如果不準該如何修正,這是很重要的工作。有了獨特的MAG*I*CAL校準標樣,你就可以在大約1000x至1,000,000x全范圍內對一臺透射電鏡的放大倍率進行校準。由于樣品本身是一個單晶體,它也能用來對相機常數以及像/衍射花樣的磁轉角進行校準。盡管MAG*I*CAL校準標樣是為TEM在材料科學領域應用而研發的,但在生命科學領域也同樣有用。

MAG*I*CAL校準的參考標準是一個離子減薄過的硅基半導體多層截面TEM樣品。它含有4組由5層10nm厚SiGe合金層和13nm厚純硅層相間隔組成的結構。分子束外延(MBE)法生長的高質量外延層作為單晶硅001襯底上的應變層。這樣的4組交替相間的結構層(超晶格)為TEM成像提供明暗對比,并且是以硅111面晶格間距作為單晶硅襯底上的測量依據通過高分辨透射電鏡(HREM)直接校準的,標樣上的校準標記直接引用一個自然常數,即硅的晶格常數,這樣MAG*I*CAL就可完整追溯到一個自然的基本常數。

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透射電鏡校準標樣

南京覃思科技有限公司

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