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光學(xué)膜厚儀

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巨力科技有限公司

美國(guó)

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關(guān)注度:

783

產(chǎn)品介紹

儀器簡(jiǎn)介:

美國(guó)光學(xué)膜厚儀,廣泛應(yīng)用于各種薄膜、涂層光學(xué)常數(shù)(n and k)和厚度的精確測(cè)量,設(shè)備分為在線和離線兩種工作模式,操作便捷,幾秒鐘內(nèi)即可完成測(cè)量和數(shù)據(jù)分析,USB 連接計(jì)算機(jī)控制;

薄膜表面或界面的反射光會(huì)與從基底的反射光相干涉,干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關(guān),因此可通過(guò)計(jì)算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無(wú)損、精確且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量技術(shù),我們的薄膜測(cè)量系統(tǒng)采用光干涉原理測(cè)量薄膜厚度。

應(yīng)用:

半導(dǎo)體(光刻膠、氧化物和氮化物等),

液晶顯示器(ITO, Polyimide, Cell gap),

法醫(yī)鑒定、生物薄膜和材料;

墨水、礦物、染料、化妝品;

硬質(zhì)涂層、減反射涂層、濾波涂層;

醫(yī)藥、醫(yī)療器件;

光學(xué)薄膜、TiO2, SiO2, Ta2O5;

半導(dǎo)體化合物;

功能薄膜(MEMS/MOEMS);

非晶硅、納米晶硅、晶體硅;

技術(shù)參數(shù):

測(cè)量范圍:20 nm to 50 μm (Thickness only),

100 nm to 10 μm (Thickness with n and k) ;

多層測(cè)量:Up to 4 layers;

光點(diǎn)大小調(diào)節(jié)范圍:0.8 mm to 1 cm ;

薄膜厚度測(cè)量精度:±0.5%;

厚度測(cè)重復(fù)性:0.1nm;

樣品臺(tái)尺寸:200 mm × 200 mm;

主要特點(diǎn):

*基片折射率和消光系數(shù)測(cè)量;

*薄膜厚度測(cè)量,平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差分析;

*薄膜折射率和消光系數(shù)測(cè)量;

*適用于不用材質(zhì)和厚度的薄膜、涂層和基片;

*測(cè)試數(shù)據(jù)輸出和加載;

*直接Patterned或特征機(jī)構(gòu)的試樣測(cè)試;

*可用于實(shí)時(shí)在線薄膜厚度、折射率監(jiān)測(cè);

*波長(zhǎng)范圍可選;

*系統(tǒng)配備強(qiáng)大的光學(xué)常數(shù)庫(kù)和材料數(shù)據(jù)庫(kù),便于測(cè)試和數(shù)據(jù)分析;

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光學(xué)膜厚儀

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