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ECHO Pro™ 全自動超聲波掃描顯微鏡

全自動生產型:

● 批量 Tray盤和框架直接掃瞄

● 編程自動判別缺陷

● 高產量，無需人員重復設置

● 自動烘干

SONIX 硬件優勢

● 緊湊、穩定的結構設計

模塊化設計使得結構簡單、穩定，易于維護

● 高速、穩定的馬達設計

掃描軸采用***的線性伺服馬達，提供高速、穩定、無磨損的掃描

● **的超聲波探頭/透鏡

提供精確的缺陷檢驗，*小能探測到僅0.1微米厚度的分層。

● PETT技術

反射及透射同時掃描，有效提高元器件分析效率