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離子濺射儀MC1000

直接聯(lián)系

似空科學(xué)儀器（上海）有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號

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964

產(chǎn)品介紹

采用磁控型電極，**限度地減輕對樣品的損壞。

特色

規(guī)格

項目		說明
放電	類型	磁控二極管放電型(電場垂直于磁場)
	電極組成	反向平行盤(嵌入磁鐵)
	電壓	** 0.4 kV DC(直流可變)
	電流	** 40 mA DC
噴鍍速率1(*) [條件] 壓力：7 Pa 放電電流：40 mA 標(biāo)靶與樣品表面之間的距離：20 mm	Pt 靶(選配件)	15 nm/min
	Pt-Pd 靶(選配件)	20 nm/min
	Au 靶(選配件)	35 nm/min
	Au-Pd 靶(選配件)	25 nm/min
樣品尺寸	**直徑	φ60 mm
樣品尺寸	**高度	20 mm
機(jī)械泵		135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2		Pt ， Pt-Pd (8:2) ， Au ， Au-Pd (6:4)
電源要求		單相， 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz)， 3-針插頭線纜(3 m)
尺寸	寬度	450 mm
	長度	391 mm
	高度	390 mm
重量		主機(jī)：約 25 kg 機(jī)械泵：約 28 kg

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離子濺射儀MC1000

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