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發射掃描電子顯微鏡ReguluS

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似空科學儀器(上海)有限公司

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面議

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824

產品介紹

現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。

通過優化電子光學系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,觀察性能與現有機型相比提高了20%左右。

此外,為充分發揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1

Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發揮儀器的**性能。

  • *1

  • 僅限Regulus8240/8230/8220

特色

  • 沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2

  • 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的**性能

  • 與現有機型相比分辨率提高了20%左右

    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉

  • 運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察

樣品:金顆粒

著陸電壓:10 V

超高分辨觀察

樣品:Pt催化劑

加速電壓:30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

樣品:Sn球

著陸電壓:1.5 kV

  • *2

  • 僅限Regulus8240/8230/8220

    規格

    項目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
    二次電子分辨率0.8 nm

    (加速電壓15 kV)

    1.1 nm

    (著陸電壓1 kV)*3

    0.7 nm(加速電壓 15 kV)

    0.9 nm(著陸電壓 1 kV)*3

    著陸電壓0.1~2 kV0.01~20 kV
    放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4
    樣品臺樣品臺控制3軸馬達臺(可選5軸馬達臺)5軸馬達驅動
    移動范圍X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
    Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
    R360°
    T-5~70°
    Z1.5~30 mm1.5~40 mm
    再現性---±0.5 μm以下含±0.5 μm
    • *3

    • 減速模式下觀察

    • *4

    • 以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率

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