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一、 URE-2000S/A8 型雙面光刻機(jī)

1.主要技術(shù)參數(shù)

曝光面積：8 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm： 15mW/cm

405nm：15-30mW/cm2

分辨力：1mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2 mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.8mm（單面）

掩模尺寸：4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸

樣片尺寸：3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸

厚度 0.1mm—2mm

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)l

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-200mm

照明不均勻性：5%（Ф200mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X：±5mm; Y：±5mm; q：±6 度

**膠厚：500 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）

2．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）′1200mm(寬) ′2000mm（高）

3．設(shè)備構(gòu)成與配置明細(xì)

設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)（曝光頭）、對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)、雙目雙視場(chǎng)顯微鏡系統(tǒng)、底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、電控

系統(tǒng)、氣動(dòng)控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè)備構(gòu)成。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括：

。冷光橢球鏡

。1000 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇.

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 余個(gè)透鏡）、i 線濾光片、

場(chǎng)鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)包括：

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)（XY）

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)（θ）

。樣片自動(dòng)調(diào)平機(jī)構(gòu)

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)l

。承片臺(tái) 4 個(gè) （3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸）

。掩模架 4 個(gè) （4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸）

。掩模翻轉(zhuǎn)及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）系統(tǒng)包括：

。LED 照明及配套電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)

XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)（兩套）

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。LED 照明及配套電源

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)(2 套)

。數(shù)據(jù)采集卡

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（22 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件（選配）

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油靜音型）

。空壓機(jī)一臺(tái)（無(wú)油靜音型）

。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

。管道

二、 URE-2000S/A 型雙面光刻機(jī)

1.主要技術(shù)參數(shù)

曝光面積：6 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm： 20mW/cm

405nm：20-35mW/cm2

分辨力：1mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.8mm（單面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸

厚度 0.1mm—6mm

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口7

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）

3%（Ф150mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X：±5mm; Y：±5mm; q：±6 度

**膠厚：500 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）

2．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）′1200mm(寬) ′2000mm（高）

3．設(shè)備構(gòu)成與配置明細(xì)

設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)（曝光頭）、對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)、雙目雙視場(chǎng)顯微鏡系統(tǒng)、底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、電控

系統(tǒng)、氣動(dòng)控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè)備構(gòu)成。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括：

。冷光橢球鏡

。1000 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇.

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 余個(gè)透鏡）、i 線濾光片、

場(chǎng)鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)包括：

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)（XY）

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)樣片自動(dòng)調(diào)平機(jī)構(gòu)

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)

。承片臺(tái) 4 個(gè) （2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸）8

。掩模架 4 個(gè) （3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸）

。掩模翻轉(zhuǎn)及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）系統(tǒng)包括：

。LED 照明及配套電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)（兩套）

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。LED 照明及配套電源

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)(2 套)

。數(shù)據(jù)采集卡

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（22 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件（選配）

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油靜音型）

。空壓機(jī)一臺(tái)（無(wú)油靜音型）

。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

。管道

（8）技術(shù)資料

。設(shè)備使用及維護(hù)說(shuō)明書

三、 URE-2000S/B 型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：4 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm： 25mW/cm

405nm：20-40mW/cm2

分辨力：1mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.8mm（單面）

掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸

厚度 0.1mm--6mm

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍10

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

**膠厚：600 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）

2．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）′1200mm(寬) ′2000mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。1000 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗，長(zhǎng)壽命型)；

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)

鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)

。承片臺(tái) 3 個(gè) （3 英寸、4 英寸，5 英寸）

。掩模夾 3 個(gè) （2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源（配備品 2 只）、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）11

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源（配備品 2 只）、 電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)(2 套)

。雙通道數(shù)據(jù)采集卡

。CCD（兩套）

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（監(jiān)視器配 21 英寸寬屏液晶）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。無(wú)油靜音真空泵一臺(tái)

。無(wú)油靜音空壓機(jī)一臺(tái)

。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

。管道

四、 URE-2000S/25A 型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：6 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm：

功率密度：＞25mW/cm2

分辨力：1mm

正面雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：

既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800

倍，物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍；目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

正面立式雙 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，光學(xué)放大，0.65-4.5 倍；具備側(cè)向光源

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.8mm（單面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

樣片尺寸：：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸

厚度 0.1mm--2mm(雙面)

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）

4%（Ф150 mm 范圍）13

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

**膠厚：350 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：3.5°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）′900mm(寬) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái) 4 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

。掩模夾 4 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（帶 CCD，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。立式雙 CCD 光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) 14

。側(cè)向?qū)?zhǔn)光源

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

。空壓機(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道

五、 URE-2000S/25 型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：4 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm： 40mW/cm

405nm：20-45mW/cm2

分辨力：1mm

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（單面）

掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸

厚度 0.1mm--2mm(雙面)

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性： 3%（Ф100mm 范圍）16

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

**膠厚：350 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：3.5°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）′900mm(寬) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái) 3 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模夾 3 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）17

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

。空壓機(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道

六、 URE-2000S/35L（A）型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：6 英寸

光 源：紫外 LED

曝光波長(zhǎng)：365nm： 10-25mW/cm

分辨力：1mm

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（單面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸

厚度 0.1mm--2mm ，

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性：2.5%（Ф100mm 范圍）19

3%（ f150 mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

**膠厚：400 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）′900mm(寬) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。LED 進(jìn)口光源

。冷卻模塊

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2、能力調(diào)節(jié)器、微光學(xué)整形元件

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái) 4 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

。掩模夾 4 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）20

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

。空壓機(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道

七、 URE-2000S/35L（B）型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：4 英寸

光 源：紫外 LED

曝光波長(zhǎng)：365nm：20-40mW/cm2

分辨力：1mm

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2 mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（單面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸

厚度 0.1mm--2mm(雙面)

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）22

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

**膠厚：400 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）′900mm(寬) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。LED 進(jìn)口光源

。冷卻模塊

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2、能力調(diào)節(jié)器、微光學(xué)整形元件

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái) 3 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模夾 3 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)23

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

。空壓機(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道

（8）技術(shù)資料

。使用維修說(shuō)明書

。顯微鏡使用說(shuō)明書

八、 URE-2000S/25S 型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：4 英寸（或 6 英寸）

曝光波長(zhǎng)：365nm： 40mW/cm

405nm：20-40mW/cm2

分辨力：1mm

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2.5mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（單面）

掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置） 25

厚度 0.1mm--2mm

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性： 3%（Ф100mm 范圍）

5%（ f150 mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）

**膠厚：350 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：3.5°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）′1000mm(寬) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭（兩套）

。冷光橢球鏡

。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái)：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置）

。掩模夾：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）26

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

。空壓機(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道