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URE-2000/A12紫外單面光刻機(jī)

直接聯(lián)系

深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號
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面議

關(guān)注度:

849

產(chǎn)品介紹

URE-2000/A12 紫外單面光刻機(jī)

1、設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo):

(1) 曝光面積: 300mm×300mm;

(2)分辨力:±2μm;

(3)對準(zhǔn)精度:±2μm;

(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;

(5)樣片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;

(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂層;

(7)掩模樣片整體運(yùn)動范圍:X:10mm;Y:10mm;

(8)掩模相對于樣片運(yùn)動行程:X:±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°;

(9)汞燈功率:1000W(直流);

(10)曝光能量密度:≥ 10mW/cm 2 ;

(11)曝光峰值波長:365nm;

(12)光源平行度:<2°;

(13)曝光方式:定時(計時方式 0.1s—9999.9s);

(14)光刻版夾具兼容性

2.技術(shù)主要組成部分

(1)曝光頭系統(tǒng)包括:

。冷光橢球鏡;

。 德國 OSRAM1000W 直流高壓汞燈;

。 XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺;

。 光學(xué)系統(tǒng)(冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡);

。 冷卻風(fēng)扇。

(2)對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括:

。 掩模樣片相對運(yùn)動臺;

。(XY),轉(zhuǎn)動臺;

。 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu);

。 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu);

。承片臺 3 個: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;

。 掩模夾 3 個: 7 英寸、9 英寸、13 英寸。

(3)CCD 對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括:

。4 倍顯微鏡 2 只;

。照明光源 2 套;

。 CCD 相機(jī) 2 只;

。22 英寸液晶顯示器。

(5)電控系統(tǒng):

。 汞燈觸發(fā)電源(1000W);

。 單片機(jī)控制系統(tǒng);

??刂乒褡?。

(6)氣動系統(tǒng)系統(tǒng)包括:

。 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān),電磁閥驅(qū)動,氣動儀表等

(7)其他配置與附件

。真空泵一臺;

??諌簷C(jī)一臺;

。配套氣管 10m;

產(chǎn)品咨詢

URE-2000/A12紫外單面光刻機(jī)

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