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DS-2000/14G型無掩模單面光刻機

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

四川

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856

產品介紹

DS-2000/14G 型無掩模光刻機

1.技術特征

.采用 DMD 作為數字掩模,像素數 1024×768 或 1920×1080 或 2560x1600 三種選配

.采用縮小投影光刻物鏡成像,分辨力 1um。

.采用**技術——積木錯位蠅眼透鏡實現均明。

.采用進口精密光柵、進口電機、進口導軌、進口絲杠實現精確工件定位和曝光拼接,可適應 100mm?100mm 基片。

.采用 CCD 檢焦系統實現整場調平、自動逐場調焦或自動選場調焦曝光。

.具備對準功能

2.技術參數

.光源:350W 球形汞燈(曝光譜線: i 線)或紫外 LED;

.照明不均勻性:2%;

.物鏡倍率:7.6 倍(或 14 倍與選擇的 DMD 像素尺寸有關)

.曝光場面積:1mm×0.7mm (或 1.9mm×1.8mm ,或 2.5mm×1.6mm,與選擇的 DMD 像素數有關)?

.光刻分辨力:1 μm

.工件臺運動范圍:X:100mm、 Y:100mm;

.工件臺運動定位精度:± 0. 5μm;

.調焦臺運動靈敏度:1μm;

.對準精度:± 2μm;

.調焦臺運動行程:6mm

.檢焦:CCD 檢測,檢測精度 2 微米

.轉動臺行程:±6°以上

.直寫速度:40mm2 /min

基片尺寸

.外徑: Ф1mm—Ф100mm,厚度:0.1mm--5mm

3.外形尺寸:840mm(長)x450mm(寬) x830mm(高)

4.配置

(1)照明系統

.350W 直流汞燈(或紫外 LED)、橢球鏡、準直鏡、蠅眼透鏡組、場鏡組、365nm 濾光片、氣動快門、DMD(美

國德州儀器)、冷卻風扇。

.投影物鏡 7.6 倍,可根據用戶要求另增加一種.

.分辨力 1?m(縮小倍率 7.6 倍)

(2)工件臺系統

.X 臺:電機驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本 NSK)、導軌 2(日本 THK)、光柵(美國)

.Y 臺:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本 NSK)、導軌 2(日本 THK)、光柵 2(美國)

.轉動臺:電機及驅動器(日本樂孜),轉動軸系

.Z 臺:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠、上升導向機構

.承片臺:4 英寸(可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等)

(3)檢焦系統

.焦面光學檢測系統、CCD、焦面檢測軟件

(4)對準系統

.對準光學檢測系統、CCD、對準軟件

(5)電控系統

.汞燈電源及觸發器、主機控制系統、軟件、計算機、監視器(19 英寸液晶)、接口(6)氣動系統

.電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表

(7)其他附件

.真空泵一臺(無油泵)

.空壓機一臺(靜音泵)

.管道

產品咨詢

DS-2000/14G型無掩模單面光刻機

深圳市藍星宇電子科技有限公司

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