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OAI UV Led光源

直接聯(lián)系

深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

關(guān)注度：

1342

產(chǎn)品介紹

OAI UV Led 光源-對準(zhǔn)和均勻，適用于高要求的光刻應(yīng)用。

BENEFIT 好處

Low Cost 低成本

Long Life 壽命長

Energy Efficient 高效率能源

Low Power Usage 低功率使用

No maintenance costs or lamp changes 沒有維護(hù)費用或更換燈管

No Mercury. 沒有汞

OPTIONS 選項

Free standing or can be integrated into any OAI 獨立或可集成到任何OAI

lithography system 光刻系統(tǒng)

Variety of tooling modules available 可提供多種模具模塊

Height adjustable LS stand available 高度可調(diào)的LS站

Single or multiple wavelength 單波長或多波長

FEATURES 特性

Beam size 4” to 12” sg. 尺寸為4 "到12 " sg

Wave length 365um， 405um or dual wave length 波長365um， 405um或雙波長

Dual Wave Length Tuning available 可進(jìn)行雙波長調(diào)協(xié)

Beam uniformity better than +/- 4% 光束均勻性優(yōu)于+/- 4%

Beam intensity up to ~25mW/cm2 光束強度可達(dá)~25mW/cm2

Easy to use touch screen interface 易于使用的觸摸屏界面

Collimation angle <= 2 degrees 準(zhǔn)直角< <= 2度

Dose control and timed exposure 劑量控制和定時曝光

USB remote interface for PC control USB遠(yuǎn)程接口的PC控制

Long working 長時間的工作

Tooling Module

Using UV Led Light

Source: 0.5um

Lines and Space

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產(chǎn)品咨詢

OAI UV Led光源

深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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