粉體行業在線展覽
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上海德心貿易有限公司
韓國
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SNE-4500M型掃描電鏡是韓國SEC公司研制的高分辨、自動化、經濟的高端型號Mini-SEM，具備與大型掃描電鏡同等的分辨率。該設備實現了大電鏡的小型化處理，放大倍率高達10萬倍；裝載易于使用的可變光闌，可達到5nm圖像分辨率，是臺式電鏡中分辨率**的設備；作為**一款5軸載臺的Mini-SEM， 能同時運用鼠標控制與快捷鍵移動樣品進行全方位分析；可通過多種掃描模式與測試工具獲得多種分析結果。廣泛應用于材料科學、生命科學、教育、鑒定、工業、電子、環境、能源等領域。
儀器配置
型號 | 參數 | |
SEM basic | SNE-4500M | 分辨率：5nm，放大倍數：100，000倍，探測器：二次電子（SE），電壓：1到30kv，樣品臺：X，Y，R，Z，T五軸/手動控制，真空：高 |
含 | 臺式電腦（或筆記本電腦）/因特爾處理器，硬盤：500GB，RAM緩存:4GB | |
顯示器（21.5英寸） | ||
機械泵（裝配；軟管）；SEM備用零件（燈絲，試件臺，夾具，扳手……）Cable; Connecting 連接電纜 | ||
SEM Additional accessories | 背散射探測器，類型：固態4通道 | |
自動軸控制 -Type: X，Y，R(3-axis)/DC Type(Basic);類型：X，Y，R(3軸)/DC型(標配) | ||
EDS System EDS系統 | element | 分辨率：129 電子伏 / 元素范圍：從B 到Am， 反應區域：25mm2， C系列Si3N4窗口，軟件：TEAM（頻譜分析，圖像，多點，線掃描，數據記錄） |
圖1 SNE-4500M型掃描電鏡
技術參數
電子光學系統 | 分辨率 | 5nm (30kV， 二次電子成像) |
放大倍率 | 20x~100，000x | |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探測器 | 二次電子探測器（SE） | |
電子槍 | 預對中鎢燈絲 | |
載臺系統 | 載臺運動 | 5軸系統 (X， Y， R， Z， T -手動) |
X， Y-軸: 40mm / R-軸: 360° | ||
Z-軸: 0~35mm / Tilt-軸 : 0~45° | ||
* 影像偏移 : ±150μm | ||
**樣品尺寸 | 80mm（Φ）*35mm（H） | |
成像系統 | 自動功能 | 自動啟動，自動聚焦，自動消像散，自動調節對比與亮度 |
圖像格式 | BMP， JPEG， PNG， TIFF | |
真空系統 | 真空模式 | 高真空（低真空可選） |
真空泵 | 旋轉式機械泵/渦輪式分子泵（全自動） | |
尺寸與重量 | 主機 | 390(W)x380(D)x560(H)mm， 88kg |
控制單元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm， 37kg | |
旋轉泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm， 24kg |
EDS(elment）介紹
EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是裝載在SEM(電子顯微鏡)上的可以對樣品表面進行成分分析的設備。電子束轟擊樣品表面后，可產生多種信號，EDS探測器通過檢測其中的特征X-Ray，進行定性和定量分析。用戶可采用線掃、面掃等模式，進行點、線、面等多區域多樣的表面成分分析，并生成不同格式的結果報告。賽可所有電鏡型號都可以裝載EDS探測器，其搭載的袖珍EDS和大型電鏡配備的EDS具有相同的性能，且不需液氮，操作快速、簡便。
(a) 定性定量分析
提供快速精準的定性及定量分析結果，面，點等多領域多樣的表面成分分析，如圖2。
- 自動分離重疊峰值， 提供高信頼性結果。
圖2 賽可臺式掃描電鏡EDS圖譜
(b) 線掃（Line Scan）
根據使用者指定的直線來進行分析，可以明顯區分各元素差異，如圖3。
圖3 賽可臺式掃描電鏡EDS線掃圖
(c) 面掃（Mapping）
以不同顏色區分各元素所在區域，如圖4。
圖4 賽可臺式掃描電鏡EDS面掃圖
自動軸控制
在標配的手動控制載臺上搭載電動控制，可以對載臺在X/Y/R三軸的移動進行自動控制，使樣品移動更簡單。
用戶可以利用控制界面進行位置移動，在軟件中雙擊鼠標，位置回歸中心點。
圖5 自動化平臺
設備應用展示
晶圓 (SE/10 kV/30，000x) | 氮化鎵(SE/15 kV/10，000x) |
二氧化硅（SE/20 kV/30，000x） | 氧化鋅（SE/5 kV/15，000x） |
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