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技術介紹：系統利用兩個溫度傳感器同時通過MOCVD 設備的可視窗口掃描石墨盤，進行溫

度測量。在單次測量時，傳感器探頭從石墨盤中心逐漸掃描到邊緣，同時，整個盤以一定轉

速在旋轉，所以，可快速、輕易、精確地得到整盤的溫度分布圖；

應用范圍：適用于Veeco K465i 和EPIK700 MOCVD，以及其他品牌類似系統，可實時快速對石墨盤的整體溫度分布進行Mapping 測量，分析盤面溫度的分布均勻性；有幫于客戶調整加熱區域，改善并優化工藝，以提高產品質量和器件性能。

技術指標及特點：

1. 適配MOCVD 型號：Veeco K465i 及EPIK700 以及其他品牌類似系統；

2. 掃描范圍：全盤掃描，自定義部分區域掃描；

3. 溫度范圍：530℃-1250℃（可選更高）；

4. 溫度分辨率：530-700℃：±1℃；700-1250℃：±0.3℃；

5. 掃描分辨率：用戶自定義，通常設置為徑向掃描步進：1mm，角度分辨率：0.3°或更高；

6. 掃描時間：與石墨盤旋轉速度有關，例如：盤轉速為600rpm，徑向掃描步進為1mm 時，整盤掃描時間93s；可預設掃描開始時間或兩次掃描時間間隔，以便與薄膜生長狀態相關聯；

7. 溫度分析功能：溫度2D 或3D 直觀圖形顯示及統計分析，定義的半徑或直徑上的徑向溫度分布，指定半徑上的溫度分布并與RT 數據進行比對，目標區域放大分析，Crosshair 徑向分析，石墨盤每個pocket 溫度統計分析（**值，*小值、平均值及標準偏差）。

8. 溫度校準：既可校準到已知溫度設定點，也可使用kSA Spectra Temp 溫度測溫工具校準到**溫度。