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日本HORIBA痕量氣體在線分析儀GA-370

GA-370 用于空氣分離和半導體工廠生產的高純氣體的質量管理，為氣體生產設施的質量管理提供連續的，高靈敏度及高精確度的微量雜質（CO，CO2，CH4）監測。

一.高靈敏度的監測

1.采用交替流動調制型雙光束非分散紅外吸收法（NDIR），零點極其穩定，無漂移。

2.*小檢測限（MDL）為10 ppb，可支持需要高精度測量的應用。

GA-370痕量氣體分析儀內置的紅外光源的光束通過氣室到達檢測器。在測量過程中，電磁閥交替地將樣氣和參比氣體引入到分析儀的測量氣室中。

與氣室中充滿參比氣體時的情況相比，當氣室中充滿樣氣的時候，樣氣中的CO、CO2以及CH4會引起到達檢測器的光強度的不同。檢測器檢測到的兩種氣體對光的吸收差異，使檢測器薄膜發生偏轉而振動。采用這種測量技術能省去光學斬波器和光學調整的需要，消除零點漂移，提高了靈敏度。

二．高純氣體中微量雜質的監測

可應用于典型平衡氣體如：氮氣，氧氣，氦氣，氬氣，氫氣和空氣。

如有需要用于測量其他平衡氣的情況， 我司。

三．操作簡便，免維護

1.操作簡便的屏幕菜單簡化了分析儀的校準和測量等各項操作。

2.無需光學調整。

3.觸摸式彩色液晶顯示屏（LCD）能夠以圖表方式顯示歷史數據。

四．典型應用

一般情況下，工業氣體如氧氣和氮氣，是由空氣分離設備制造的。將除去水分（H20）和二氧化碳（CO2）的原料空氣通入分離裝置，分離裝置利用氮氣（N2）、氬氣（Ar）和氧氣（O2）三者沸點不同分離出不同氣體。同樣地，空氣分離設備也能制造其他稀有或惰性氣體，如氫氣（H2）和氦氣（He）。

HORIBA 的GA-370痕量氣體分析儀能有效測量分離后氣體中的雜質，保證了氣體質量。

五．在線分析儀GA-370技術參數:

型號： GA-370

測量組分： CO， CO2 和 CH4

高純氣體種類： N2，O2，He， Ar， H2， Air

測量組分數： 1-2種（由平衡氣體種類決定）

測量原理：交替流動調制型雙光束非分散紅外吸收法（NDIR）

量程：0～1/2/5/10 ppm

檢測下限：10 ppb

零點漂移：≤±0.02 ppm/天， ≤±0.03 ppm/周

量程漂移：≤±2% F.S./天， ≤±3% F.S./周

響應時間：≤180s

外形尺寸和重量：430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括突出部分)，約18 kg

電源：100～240 V AC，≤±10% (不超電壓：250 V AC)

日本堀場HORIBA痕量氣體在線分析儀GA-370中國技術服務中心 中文說明書