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全自動(dòng)Overlay量測設(shè)備

MRS-OM40

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蘇州鎂伽科技有限公司

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MRS-OM40

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鎂伽全自動(dòng) 〇verlay 量測設(shè)備 MRS-OM40，適用于光刻制程單面、雙面、紅外 Overlay 自動(dòng)量測，配置可見光和紅外光顯微成像系統(tǒng)，具備高速、高精度、多功能量測能力，是 MEMS 晶圓廠、芯片制程黃光區(qū)進(jìn)行產(chǎn)品良率管理的關(guān)鍵設(shè)備。

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MRS-OM40

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