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SiC高溫氧化爐

SiC高溫氧化爐

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山東力冠微電子裝備有限公司

山東

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

山東力冠

型號:

SiC高溫氧化爐

關注度:

355

產品介紹

專用于SiC晶圓的高溫氧化工藝,可實現晶圓片高溫真空環境下完成氧化工藝。

可使用O2,N2O,NO,NO2或濕法氧化,采用無金屬加熱和真空裝備。

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SiC高溫氧化爐

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