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高溫真空退火CVD系統 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210

BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210

直接聯系

安徽貝意克設備技術有限公司

安徽合肥

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

貝意克

型號:

BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210

關注度:

1656

產品介紹

一、產品特色

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,上下獨立8點控溫;設備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管。

2、開啟式預熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,上下獨立4點控溫;設備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管。

3、氣路系統可精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比,同時可同PLC進行聯動控制。

4、反應管組件

反應管組件使用石英管,兩端帶水冷法蘭組件快開卡箍,方便拆裝維護清理。

5、智能控制系統

采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。


二、技術參數

**溫度

1200℃

持續工作溫度

≤1100℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節,人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

加熱總功率

≤27KW

加熱區尺寸

100+200mm(預熱爐),100+200+200+200mm(加熱爐)

真空度

≤5pa

設備尺寸

3900*1200*2000mm

設備重量

約1300KG


產品咨詢

高溫真空退火CVD系統 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210

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