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卷對卷連續走絲CVD沉積系統

RTR-1700C-III-CVD

直接聯系

安徽貝意克設備技術有限公司

安徽合肥

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

貝意克

型號:

RTR-1700C-III-CVD

關注度:

1239

產品介紹

一、產品特色

★該卷對接設備搭配左右收放卷倉、感應加熱組件、加熱爐、尾部過濾組件、氣路組件、真空組件等;

★ 左端為放卷倉,由電機加上卷軸組件等部件組成,法蘭上配有2組截止閥控制的進氣口1和2,法蘭上配有1個壓力表,倉體上配有真空規和KF口;右端為收卷倉,由電機加上卷軸組件等部件組成, 法蘭上配有1組球閥控制的出氣口,倉體上配有真空規和KF口,尾部配有過濾組件;

★ 感應加熱組件由線圈、高頻主風機組件組成;加熱爐為三溫區:200+200+200mm組成;前部為觸摸屏操控界面;尾部過濾組件內置過濾擋片,方便清洗更換,同時尾部配有攪拌功能,防止尾部雜質淤積和堆積;氣路為6路供氣,其中4路混合一路進左法蘭進氣口1,一路預熱后進左法蘭進氣口2,另外1路作為吹掃,進右腔體保護使用;真空組件由一臺機械泵和一套真空泵組合而成;

★ 設備采用承重框架結合鈑金包圍形式。機架采用深灰色、門板等采用時尚橘紋白。設備簡約又不乏穩重,更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。


二、技術參數

額定功率

45KW

額定電壓

380V

工作持續溫度

≦1600℃

推薦升溫速率

1400℃以下≤10℃/min,1400℃到 1600℃≤5℃/min,1600℃以下≤2℃/min

爐管尺寸

剛玉管φ25mm×1600mm

加熱區長度

200mm+200mm+200mm

感應加熱機型號

BTG45

熱電偶

B 型熱電偶

控溫方式

模糊 PID 控制和自動整定調節,智能化 30 段可編程控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

硅鉬棒

爐體尺寸

長 2915mm×寬 1535mm×高 1455mm

爐體凈重

950KG


產品咨詢

卷對卷連續走絲CVD沉積系統

RTR-1700C-III-CVD

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