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等離子增加化學氣相沉積系統

BTF-1200C-SL-A

直接聯系

安徽貝意克設備技術有限公司

安徽合肥

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

貝意克

型號:

BTF-1200C-SL-A

關注度:

1401

產品介紹

一、設備簡介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統。本設備集真空系統、供氣流量系統、自動推進、加熱于一體,并將所有控制集成于觸屏操控界面之中,使設備更加智能化,便于使用者操作。溫度范圍寬:100-1200度可調,加熱區域長度:1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,連續生長各種薄膜等。


二、技術參數

功率

3KW

額定電壓

AC 220V  50/60HZ

**溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

空開大?。ㄗ詡洌?/span>

2P 40A

爐管尺寸

高純石英管Φ100*1400mm

**滑動距離

880mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

質量流量計

兩路500sccm+5000sccm

機械泵

10m3/h

設備凈重

約230Kg


產品咨詢

等離子增加化學氣相沉積系統

BTF-1200C-SL-A

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