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蓄熱式熱氧化器采用熱氧化法處理中低濃度的有機廢氣，用陶瓷蓄熱床換熱器回收熱量。其由陶瓷蓄熱床、自動控制閥、燃燒室和控制系統等組成。其主要特征是：蓄熱床底部的自動控制閥分別與進氣總管和排氣總管相連，蓄熱床通過換向閥交替換向，將由燃燒室出來的高溫氣體熱量蓄留，并預熱進入蓄熱床的有機廢氣；采用陶瓷蓄熱材料吸收、釋放熱量；預熱到一定溫度（≥760℃）的有機廢氣在燃燒室發生氧化反應，生成二氧化碳和水，得到凈化。典型的三床式RTO主體設備由一個燃燒室、三個陶瓷填料床、一個過濾室、管道和九個風向切換閥、一個補新風閥、一個直排閥、一個廢氣主控閥、一個泄溫（爐膛泄壓）閥組成。該裝置中的蓄熱式陶瓷填充床換熱器可使熱能得到**限度的回收，熱回收率大于95%；處理VOC時不用或使用很少的燃料。