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宏觀形貌表征：層數或厚度判定、均勻性分析等
微觀形貌表征：表面潔凈度、平整性等
原子結構表征：原子缺陷、層間堆垛方式、電子能帶結構等
光學性能表征：紫外到紅外波段透射、反射、吸收性能等
電學性能表征：方塊電阻、遷移率、摻雜濃度等
力學性能表征：應力應變，楊氏模量等
熱學性能表征：平面熱傳導、界面熱導性能等
電化學性能表征：比表面積、電容電池特性等